target在英文的翻译是目标的意思,但在真空行业它则是靶材的意思,那么什么是靶材呢?下面详细说明:

 

1.什么叫靶材?什么叫溅射靶材?两者之间有何区别?

 

靶材--是对物理气相沉积技术应用的镀膜材料形象而直观的称呼。在沉积过程中,膜材要受到电子束、离子束或放电离子的轰击,就象被射击的靶子一样,所以通俗的将这类材料叫做靶材。

溅射靶材——是靶材的一种,它是特指应用于真空溅射法镀膜的靶材。
从严格意义上来说,溅射靶材范围要小一些,但在实际应用中,通常将靶材都叫都溅射靶材。

 

2.靶材的种类,主要靶型

 

靶材种类按其成分可分为:纯金属、合金和化合物。
纯金属:铝、金、银、铬、镍、钽、钛、铜、锡等。
合金:钛铝、钛铬、钛硅、镍铬、镍铜、铬钼、铬钨、铬钒、镍钒、铽铁钴、铟银锑碲等。
化合物:氧化物、硅化物、碳化物、氮化物等。
主要靶型:同轴圆柱靶、圆形平面靶、矩型平面靶、旋转式圆柱矩形靶、S-枪靶、特殊结构靶等。

target是什么意思?